赤外線分光を用いたランタン系高誘電率ゲート絶縁膜の歪み評価
書誌事項
- タイトル別名
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- セキガイセン ブンコウ オ モチイタ ランタンケイ コウユウデンリツ ゲート ゼツエンマク ノ ヒズミ ヒョウカ
- Strain evaluation of La-based gate dielectrics by infrared spectroscopic analysis
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収録刊行物
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- Jasco report
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Jasco report 65 (1), 18-21, 2023-05
八王子 : ジャスコレポート社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520015410772726528
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- NII書誌ID
- AN0030513X
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- ISSN
- 09163492
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- NDL書誌ID
- 032941605
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP4(科学技術--化学・化学工業--分析化学)
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- データソース種別
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- NDL