単結晶ダイヤモンド基板のドライ/ウエット加工法
Bibliographic Information
- Other Title
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- タンケッショウ ダイヤモンド キバン ノ ドライ/ウエット カコウホウ
- 物理化学ナノ製造プロセスの最前線
- ブツリ カガク ナノ セイゾウ プロセス ノ サイゼンセン
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Journal
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- 日本機械学会誌
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日本機械学会誌 126 (1259), 26-29, 2023-10
東京 : 日本機械学会 ; 1938-
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520016427473783936
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- NII Book ID
- AN00187394
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- ISSN
- 00214728
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- NDL BIB ID
- 033117826
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- Data Source
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- NDL