プラズマ/電気化学プロセスを援用したナノ精度の形状加工と難加工材料のダメージフリー研磨

Web Site

書誌事項

タイトル別名
  • プラズマ/デンキ カガク プロセス オ エンヨウ シタ ナノ セイド ノ ケイジョウ カコウ ト ナン カコウ ザイリョウ ノ ダメージフリー ケンマ
  • 物理化学ナノ製造プロセスの最前線
  • ブツリ カガク ナノ セイゾウ プロセス ノ サイゼンセン

この論文をさがす

収録刊行物

  • 日本機械学会誌

    日本機械学会誌 126 (1259), 8-13, 2023-10

    東京 : 日本機械学会 ; 1938-

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ