触媒表面を基準面とした光学材料、半導体材料表面の超平滑化エッチング法

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  • ショクバイ ヒョウメン オ キジュンメン ト シタ コウガク ザイリョウ 、 ハンドウタイ ザイリョウ ヒョウメン ノ チョウヘイカツカ エッチングホウ
  • 物理化学ナノ製造プロセスの最前線
  • ブツリ カガク ナノ セイゾウ プロセス ノ サイゼンセン

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  • 日本機械学会誌

    日本機械学会誌 126 (1259), 14-17, 2023-10

    東京 : 日本機械学会 ; 1938-

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