CMOSイメージセンサ向け界面準位低減効果を有する新たな機能性シリコンウェーハの研究

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  • CMOS イメージセンサ ムケ カイメン ジュンイ テイゲン コウカ オ ユウスル アラタ ナ キノウセイ シリコンウェーハ ノ ケンキュウ
  • Study on new functional silicon wafers with reduction effect of interface state density for CMOS image sensors

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  • 応用物理

    応用物理 93 (1), 33-37, 2024-01

    東京 : 応用物理学会

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