高周波マグネトロンスパッタ法によるAl2O3膜の機械的特性に及ぼす酸素分圧の影響
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- コウシュウハ マグネトロンスパッタホウ ニ ヨル Al2O3 マク ノ キカイテキ トクセイ ニ オヨボス サンソ ブンアツ ノ エイキョウ
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- 福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報 = Reports of the Electronics Research Laboratory, Fukuoka Institute of Technology
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福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報 = Reports of the Electronics Research Laboratory, Fukuoka Institute of Technology 18 63-71, 2001-10
福岡 : 福岡工業大学総合研究機構エレクトロニクス研究所
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882042993792
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- NII Article ID
- 40004552592
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- NII Book ID
- AN10015464
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- ISSN
- 0911050X
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- NDL BIB ID
- 5973318
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
