3.粒子モデルによるエッチング用プラズマのシミュレーション(プラズマエッチングのシミュレーション)
書誌事項
- タイトル別名
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- 講座 プラズマエッチングのシミュレーション(3)粒子モデルによるエッチング用プラズマのシミュレーション
- コウザ プラズマエッチング ノ シミュレーション 3 リュウシ モデル ニ ヨル エッチングヨウ プラズマ ノ シミュレーション
- Particle-Model-Based Simulation of Plasmas for Etching(Simulation of Plasma Etching)
- 講座 プラズマエッチングのシミュレーション(3)粒子モデルによるエッチング用プラズマのシミュレーション
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抄録
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
収録刊行物
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- プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編
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プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編 77 (11), 1137-1144, 2001-11
名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882043205376
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- NII論文ID
- 110003825699
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- NII書誌ID
- AN10401672
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- ISSN
- 09187928
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- NDL書誌ID
- 5988062
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDL
- NDL-Digital
- CiNii Articles