ガラス上に形成された大粒径を有する低温poly-Si1-xGe[x]薄膜トランジスタの開発

書誌事項

タイトル別名
  • ガラス ジョウ ニ ケイセイ サレタ ダイリュウケイ オ ユウスル テイオン poly Si1 xGe x ハクマク トランジスタ ノ カイハツ
  • Lateral large-grained low-temperature poly-Si1-xGe[x] TFTs on glass substrate
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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