マイクロ波プラズマCVD法によるSi基板上へのダイヤモンド薄膜の形成

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  • マイクロハ プラズマ CVDホウ ニ ヨル Si キバンジョウ エ ノ ダイヤ

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記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子

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