マイクロ波プラズマCVD法によるSi基板上へのダイヤモンド薄膜の形成
書誌事項
- タイトル別名
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- マイクロハ プラズマ CVDホウ ニ ヨル Si キバンジョウ エ ノ ダイヤ
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説明
記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子
収録刊行物
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- 金属表面技術 / 金属表面技術協会 [編]
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金属表面技術 / 金属表面技術協会 [編] 39 (8), p434-439, 1988-08
東京 : 金属表面技術協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882161786880
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- NII論文ID
- 40000776816
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- NII書誌ID
- AN00064951
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- ISSN
- 00260614
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- NDL書誌ID
- 3194158
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
