水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法

書誌事項

タイトル別名
  • スイヘイ クドウガタ MEMS ドウハロ ノ セイデンクドウジ ニ オケル コウシュウハ トクセイ ノ ヒョウカ シュホウ
  • A Methodology for RF Performance Evaluation on Laterally-movable RF-MEMS Waveguides in Electrostatic Operation

この論文をさがす

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ