水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法
書誌事項
- タイトル別名
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- スイヘイ クドウガタ MEMS ドウハロ ノ セイデンクドウジ ニ オケル コウシュウハ トクセイ ノ ヒョウカ シュホウ
- A Methodology for RF Performance Evaluation on Laterally-movable RF-MEMS Waveguides in Electrostatic Operation
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収録刊行物
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- 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編
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電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編 97 (1), 37-45, 2014-01
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882360852096
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- NII論文ID
- 110009686084
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- NII書誌ID
- AA11412446
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- ISSN
- 13452827
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- NDL書誌ID
- 025125280
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles