La₂O₃/SnO₂積層素子を用いたMEMS CO₂センサの検出特性
書誌事項
- タイトル別名
-
- La ₂ O ₃/SnO ₂ セキソウ ソシ オ モチイタ MEMS CO ₂ センサ ノ ケンシュツ トクセイ
- SENSING CHARACTERISTICS OF MEMS CO₂ SENSORS BASED ON La₂O₃/SnO₂ STACKED DEVICE
この論文をさがす
収録刊行物
-
- Proceedings of the Chemical Sensor Symposium
-
Proceedings of the Chemical Sensor Symposium 61 10-12, 2017-03
長崎 : 電気化学会化学センサ研究会