サファイアの研磨加工
Bibliographic Information
- Other Title
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- サファイア ノ ケンマ カコウ
- Planarization technology for sapphire wafers, doubleside & singleside surfacing process
- 特集 新電子部品材料の研磨加工
- トクシュウ シン デンシ ブヒン ザイリョウ ノ ケンマ カコウ
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Journal
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- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
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Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 56 (9), 592-595, 2012-09
東京 : 砥粒加工学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882515150464
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- NII Article ID
- 10031024797
- 40019426011
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- NII Book ID
- AN10192823
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- ISSN
- 09142703
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- NDL BIB ID
- 023968386
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- Data Source
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- NDL Search
- CiNii Articles
