走査型非線形誘電率顕微鏡法によるMONOS型メモリのVth分布観察

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タイトル別名
  • ソウサガタ ヒセンケイ ユウデンリツ ケンビキョウホウ ニ ヨル MONOSガタ メモリ ノ Vth ブンプ カンサツ
  • Observation of Vth distribution of MONOS flash memory using scanning nonlinear dielectric microscopy
  • 信頼性
  • シンライセイ

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