ナノインプリント・パターンのマクロ検査技術
Bibliographic Information
- Other Title
-
- ナノインプリント ・ パターン ノ マクロ ケンサ ギジュツ
- Macro Inspection technologies of nanoimprint pattern
- 特集 ナノインプリントリソグラフィ技術における微細化と低コスト化の現状
- トクシュウ ナノインプリントリソグラフィ ギジュツ ニ オケル ビサイカ ト テイコストカ ノ ゲンジョウ
Search this article
Journal
-
- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
-
Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 57 (5), 295-298, 2013-05
東京 : 砥粒加工学会
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520290882550804864
-
- NII Article ID
- 10031167477
-
- NII Book ID
- AN10192823
-
- ISSN
- 09142703
-
- NDL BIB ID
- 024651225
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles
