水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの分解能に関する検討

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タイトル別名
  • スイネツ ゴウセイホウ ニ ヨリ セイマク シタ PZT タケッショウ マク オ モチイタ コガタ チョウオンパ プローブ ノ ブンカイノウ ニ カンスル ケントウ
  • Examination of resolution of small ultrasonic probe using lead zirconate titanate poly-crystalline film deposited by hydrothermal method
  • 超音波
  • チョウオンパ

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