DC反応性スパッタによるエピタキシャルNbN/MgO/NbN多層膜の作製

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1520290882594981376

• NII論文ID

  110003190138

  110003187592

• NII書誌ID

  AA1123312X

• ISSN

  09135685

• NDL書誌ID

  5482411

  5482379

• Web Site

  http://id.ndl.go.jp/bib/5482411

  https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5482411

  http://id.ndl.go.jp/bib/5482379

  https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5482379

• 本文言語コード

  ja

• NDL 雑誌分類

  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)

• データソース種別

  • NDL
  • CiNii Articles