熱フィラメントCVD法で堆積したダイヤモンド薄膜の構造と二次電子放出係数

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タイトル別名
  • ネツ フィラメント CVDホウ デ タイセキ シタ ダイヤモンド ハクマク ノ コウゾウ ト ニジ デンシ ホウシュツ ケイスウ
  • Structure and Secondary Electron Emission Coefficient of Diamond Films Deposited by Hot-filament CVD

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