電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め試験装置の製作とバランスシリンダの内圧制御に関する一考察

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  • デンクウ ハイブリッド チョウセイミツ エンチョク イチギメ シケン ソウチ ノ セイサク ト バランスシリンダ ノ ナイアツ セイギョ ニ カンスル イチ コウサツ
  • Development of a hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning device and investigation of pressure fluctuation in the balancing cylinder

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