半導体技術の歩みと展望
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンドウタイ ギジュツ ノ アユミ ト テンボウ
- 超LSI技術への招待<特集>
- チョウ LSI ギジュツ ヘ ノ ショウタイ トクシュウ
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収録刊行物
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- 化学工学 = Chemical engineering of Japan
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化学工学 = Chemical engineering of Japan 51 (5), p336-341, 1987-05
東京 : 化学工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882799773824
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- NII論文ID
- 40000409460
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- NII書誌ID
- AN00037212
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- ISSN
- 03759253
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- NDL書誌ID
- 3130758
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles