薄硬質材と薄軟質材の積層工具を用いた超音波加工による微細溝群の創成

書誌事項

タイトル別名
  • ハクコウシツザイ ト ハクナンシツザイ ノ セキソウ コウグ オ モチイタ チョウオンパ カコウ ニ ヨル ビサイ コウグン ノ ソウセイ
  • Fabrication of multiple microgrooves by ultrasonic machining with a tool that laminates thin hard-material and thin soft-material

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