微細T型ゲートを有するサブミリ波InP-HEMTの作製--微細T型ゲート加工条件の最適化

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  • ビサイ Tガタ ゲート オ ユウスル サブ ミリハ InP HEMT ノ サクセイ ビサイ Tガタ ゲート カコウ ジョウケン ノ サイテキカ

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