招待講演 レーザSQUID顕微鏡,レーザテラヘルツ放射顕微鏡,関連シミュレーションの統合的/選択的利用--電気的非接続でのLSIチップ故障箇所絞り込み手法

書誌事項

タイトル別名
  • ショウタイ コウエン レーザ SQUID ケンビキョウ レーザテラヘルツ ホウシャ ケンビキョウ カンレン シミュレーション ノ トウゴウテキ センタクテキ リヨウ デンキテキ ヒセツゾク デ ノ LSI チップ コショウ カショ シボリコミ シュホウ
  • The combinational or selective usage of the laser SQUID microscope, the laser terahertz emission microscope, and related simulations: non-electrical-contact fault localization in LSI chips
  • 信頼性
  • シンライセイ

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