m軸およびa軸オフ角C面サファイア基板上のAlN結晶成長の特徴と高出力AlGaN深紫外LEDの作製

書誌事項

タイトル別名
  • mジク オヨビ aジク オフカク Cメン サファイア キバン ジョウ ノ AlN ケッショウ セイチョウ ノ トクチョウ ト コウシュツリョク AlGaNシンシガイ LED ノ サクセイ
  • Characteristics of AlN growth depending on m- and a-axis oriented off-angle of c-sapphire substrate and fabrication of high-efficiency AlGaN Deep-UV LEDs
  • 電子デバイス
  • デンシ デバイス

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