超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発
Bibliographic Information
- Other Title
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- チョウセイミツ イチギメ ヨウ クウキアツ サーボ ジクウケ アクチュエータ ノ カイハツ
- Development of pneumatic servo bearing actuator for ultra-precise positioning
- 特集 "超"を目指す気体軸受技術の最前線
- トクシュウ チョウ オ メザス キタイ ジクウケ ギジュツ ノ サイゼンセン
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Journal
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- トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編
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トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編 56 (3), 149-154, 2011
東京 : 日本トライボロジー学会 ; 1989-
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882987818368
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- NII Article ID
- 10027808869
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- NII Book ID
- AN10056166
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- ISSN
- 09151168
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- NDL BIB ID
- 11040745
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
