c面サファイアおよびSi(111)基板上への六方晶BN薄膜のCVD成長

書誌事項

タイトル別名
  • cメン サファイア オヨビ Si(111)キバン ジョウ エ ノ ロッポウショウBN ハクマク ノ CVD セイチョウ
  • CVD growth of h-BN thin films on c-plane sapphire and Si (111) substrates
  • 情報ディスプレイ
  • ジョウホウ ディスプレイ

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