AlGaN/GaN HFETの表面バリア高さに対するデバイスプロセス中表面酸化の影響

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  • AlGaN GaN HFET ノ ヒョウメン バリア タカサ ニ タイスル デバイスプロセスチュウ ヒョウメン サンカ ノ エイキョウ
  • Effects of surface oxidation during device processing on surface barrier height of AlGaN/GaN HFETs
  • 電子デバイス
  • デンシ デバイス

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