機能性メタルの熱反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発
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- キノウセイ メタル ノ ネツ ハンノウセイ イオンエッチング ニ タイオウ シタ ジコ カネツシキ ステージ ノ カイハツ
- Development of Self-heated Stage Suitable for Thermal Reactive Ion Etching of the Functional Metals
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4, 2016-10
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
