極微細マルチゲートデバイスにおける面方位依存性の検討
Bibliographic Information
- Other Title
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- ゴクビサイ マルチゲート デバイス ニ オケル メン ホウイ イソンセイ ノ ケントウ
- Crystalline orientation effects on device characteristics in ultra-small multi-gate devices
- VLSI設計技術
- VLSI セッケイ ギジュツ
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 107 (295), 15-18, 2007-10-30
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290883064962944
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- NII Article ID
- 110006452225
- 110006450331
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN