狭ピッチ多ピンコンタクト対応薄膜プローブカードの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- キョウピッチ タピンコンタクト タイオウ ハクマク プローブカード ノ カイハツ
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収録刊行物
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- マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
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マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集 12 439-442, 2002-10
東京 : エレクトロニクス実装学会
