スパッタリング法によるKNN系非鉛強誘電体薄膜の作製とその加工技術
Bibliographic Information
- Other Title
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- スパッタリングホウ ニ ヨル KNNケイ ヒナマリ キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ カコウ ギジュツ
- KNN Piezoelectric Film by Sputtering and The Etching Technique
- 特集 誘電体薄膜とその実用化動向
- トクシュウ ユウデンタイ ハクマク ト ソノ ジツヨウカ ドウコウ
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Journal
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- Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan
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Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 47 (10), 764-767, 2012-10
東京 : 日本セラミックス協会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290883119363328
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- NII Article ID
- 10031155610
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- NII Book ID
- AN00131516
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- ISSN
- 0009031X
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- NDL BIB ID
- 024018519
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
