資料 液体有機シラン原料を用いたシリコンカーバイド薄膜製造シミュレーション
書誌事項
- タイトル別名
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- シリョウ エキタイ ユウキ シラン ゲンリョウ オ モチイタ シリコン カーバイド ハクマク セイゾウ シミュレーション
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収録刊行物
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- 島根県産業技術センター研究報告 = Report of the Shimane Institute for Industrial Technology
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島根県産業技術センター研究報告 = Report of the Shimane Institute for Industrial Technology (38), 63-65, 2001-11
松江 (島根県) : 島根県産業技術センター
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290883337713408
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- NII論文ID
- 40005382975
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- NII書誌ID
- AA1151014X
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- ISSN
- 13457675
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- NDL書誌ID
- 5977904
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles