供給空気の超精密・高速制御技術を用いた静圧空気軸受エアタービンスピンドルの制御

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  • キョウキュウ クウキ ノ チョウセイミツ ・ コウソク セイギョ ギジュツ オ モチイタ セイアツ クウキ ジクウケ エアタービンスピンドル ノ セイギョ
  • Control of aerostatic bearing type air turbine spindle using ultra-precision and high-speed supply pressure control technique

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