プロトンビーム描画による光導波路デバイス形成の基礎検討

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タイトル別名
  • プロトン ビーム ビョウガ ニ ヨル ヒカリ ドウハロ デバイス ケイセイ ノ キソ ケントウ
  • Fabrication of PMMA waveguide devices using focused proton beam
  • 光エレクトロニクス
  • ヒカリ エレクトロニクス

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