原子層堆積法により形成したPrAlOの結晶構造および電気的特性

Bibliographic Information

Other Title
  • ゲンシソウ タイセキホウ ニ ヨリ ケイセイ シタ PrAlO ノ ケッショウ コウゾウ オヨビ デンキテキ トクセイ
  • The crystalline structures and electrical properties of PrAlO formed by atomic layer deposition
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

Search this article

Journal

References(6)*help

See more

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top