オルト結合体ユニットを有するノボラックのフォトレジストに及ぼす影響
Bibliographic Information
- Other Title
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- オルト ケツゴウタイ ユニット オ ユウスル ノボラック ノ フォトレジスト
- 特集号 高分子の微細・精密加工とキャラクタリゼーションー1-
- トクシュウゴウ コウブンシ ノ ビサイ セイミツ カコウ ト キャラクタリゼー
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Journal
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- 高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology
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高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology 53 (4), 231-238, 1996-04
東京 : 高分子学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290883475364992
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- NII Article ID
- 10003283418
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- NII Book ID
- AN00085011
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- ISSN
- 03862186
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- NDL BIB ID
- 3947643
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
