R/Dフィロソフィーシリーズ CVD材料プロセスの微粒子工学的アプローチ
Bibliographic Information
- Other Title
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- R Dフィロソフィー シリーズ CVD ザイリョウ プロセス ノ ビリュウシ
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Journal
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- 化学工学 = Chemical engineering of Japan
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化学工学 = Chemical engineering of Japan 61 (7), 536-539, 1997-07
東京 : 化学工学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290883493028736
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- NII Article ID
- 10003809538
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- NII Book ID
- AN00037212
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- ISSN
- 03759253
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- NDL BIB ID
- 4248770
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
