高温成膜したチタン酸バリウムストロンチウム薄膜を用いた可変容量の集積化プロセス

書誌事項

タイトル別名
  • コウオンセイマク シタ チタンサン バリウムストロンチウム ハクマク オ モチイタ カヘン ヨウリョウ ノ シュウセキカ プロセス
  • Integration Process of Variable Capacitors Using Barium Strontium Titanate Thin Film Deposited at High Temperature
  • 周波数発生・制御デバイスの新展開論文特集
  • シュウハスウ ハッセイ ・ セイギョ デバイス ノ シン テンカイ ロンブン トクシュウ

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