マイクロマシンと高電圧・放電現象(その3)ナノデバイスの作製と応用
書誌事項
- タイトル別名
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- マイクロマシン ト コウデンアツ ホウデン ゲンショウ ソノ 3 ナノデバイス ノ サクセイ ト オウヨウ
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収録刊行物
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- 放電研究 : 放電学会誌
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放電研究 : 放電学会誌 46 (4), 2-6, 2003-12
東京 : 放電学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290883737499776
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- NII論文ID
- 80016365602
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- NII書誌ID
- AN00368945
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- ISSN
- 09118713
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- NDL書誌ID
- 6824869
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
