先端LSIにおけるチャネル歪評価

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タイトル別名
  • センタン LSI ニ オケル チャネル ヒズミ ヒョウカ
  • Channel strain evaluation for advanced LSI
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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