エアロゾルデポジッション法によるPLZT厚膜の形成と電気光学空間光変調器への応用

書誌事項

タイトル別名
  • エアロゾルデポジッションホウ ニ ヨル PLZT コウマク ノ ケイセイ ト デンキ コウガク クウカン ヒカリ ヘンチョウキ エ ノ オウヨウ
  • Fabrication of PLZT thick films formed by aerosol deposition method and application for electro-optic spatial light modulator
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ザイリョウ

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