Nanofabrication of Si and its related materials with an electron beam
書誌事項
- タイトル別名
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- 電子ビームによるナノ構造創製
- 日本電子顕微鏡学会第46回シンポジウム 材料のナノ・生物のナノ ; 材料系セッション3 TEMとナノファブリケーション
- ニホン デンシ ケンビキョウ ガッカイ ダイ46カイ シンポジウム ザイリョウ ノ ナノ セイブツ ノ ナノ ; ザイリョウケイ セッション 3 TEM ト ナノファブリケーション
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収録刊行物
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- 電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編
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電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編 36 (-), 84-87, 2001
東京 : 日本顕微鏡学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290883997797248
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- NII論文ID
- 40002545682
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- NII書誌ID
- AN00153086
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- ISSN
- 04170326
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- NDL書誌ID
- 5992291
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- 本文言語コード
- en
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles