外部磁場を印加した誘導結合プラズマ電子源の性能評価
Bibliographic Information
- Other Title
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- ガイブ ジバ オ インカ シタ ユウドウ ケツゴウ プラズマ デンシ ゲン ノ セイノウ ヒョウカ
- Evaluation of Inductively Coupled Plasma Cathode with External Magnetic Field
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Journal
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- プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS
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プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS 21 (1), 3-8, 2013-06
[茨木] : プラズマ応用科学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290884039732352
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- NII Article ID
- 40019920455
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- NII Book ID
- AA12687461
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- ISSN
- 13403214
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- NDL BIB ID
- 025101668
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN
