招待講演 µシェブロン型レーザビーム走査によるSi/Ge膜の単結晶帯形成とその結晶評価

書誌事項

タイトル別名
  • ショウタイ コウエン µ シェブロンガタ レーザビーム ソウサ ニ ヨル Si/Geマク ノ タンケッショウタイ ケイセイ ト ソノ ケッショウ ヒョウカ
  • Formation and evaluation of single crystal stripe in Si/Ge thin film on glass by micro-chevron beam annealing method
  • 有機エレクトロニクス
  • ユウキ エレクトロニクス

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