特集:強誘電体薄膜材料とプロセス技術
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- トクシュウ キョウ ユウデンタイ ハクマク ザイリョウ ト プロセス ギジュツ
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- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
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電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 120 (12), 547-564, 2000-12
東京 : 電気学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290884084132608
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- NII Article ID
- 40005113219
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- NII Book ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13418939
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- NDL BIB ID
- 5585017
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles