フラッシュランプアニーリング処理が銅皮膜の電気伝導性に及ぼす影響
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書誌事項
- タイトル別名
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- フラッシュランプアニーリング ショリ ガ ドウ ヒマク ノ デンキ デンドウセイ ニ オヨボス エイキョウ
- Effect of Flash Lamp Annealing Treatment on Electrical Conductivity of Copper Film
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収録刊行物
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- 材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌
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材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌 57 (3), 98-105, 2020
東京 : 日本材料科学会 ; 2002-
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290884148197120
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- NII論文ID
- 40022289557
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- NII書誌ID
- AA11602237
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- ISSN
- 13474774
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- NDL書誌ID
- 030527257
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- 本文言語コード
- ja
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- 資料種別
- journal article
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- NDL 雑誌分類
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
- KAKEN
