Cu上の表面保護膜としてのAl-Mo合金膜の適用
Bibliographic Information
- Other Title
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- Cu ジョウ ノ ヒョウメン ホゴ マク ト シテ ノ Al Mo ゴウキン マク ノ テキヨウ
- 特集:電子部品・材料,一般
- トクシュウ デンシ ブヒン ザイリョウ イッパン
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Journal
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 100 (271), 1-6, 2000-08-24
東京 : 電子情報通信学会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290884325201024
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- NII Article ID
- 110003199532
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 5482307
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
