MOVPE法による100mm径サファイア基板上への高Al組成AlXGa1-XN/GaN HEMT構造の成長とその特性評価

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  • MOVPEホウ ニ ヨル 100mmケイ サファイア キバン ジョウ エ ノ コウAl ソセイ AlXGa1 XN GaN HEMT コウゾウ ノ セイチョウ ト ソノ トクセイ ヒョウカ

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