対称性を有する回路のオンウェーハ測定用GSGパッド励振部の電磁界シミュレーションモデリングの一検討

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タイトル別名
  • タイショウセイ オ ユウスル カイロ ノ オンウェーハ ソクテイヨウ GSG パッドレイシンブ ノ デンジカイ シミュレーションモデリング ノ イチ ケントウ
  • A study of EM simulation modeling for excitations using GSG pads with symmetric circuit in on-wafer measurement
  • マイクロ波
  • マイクロハ

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