LSIの壁をMEMSが打破
Bibliographic Information
- Other Title
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- LSI ノ カベ オ MEMS ガ ダハ
- Break through the barrier of LSI with MEMS
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Abstract
記事種別: 特集
Journal
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- Nikkei microdevices : デバイス・イノベーションをリードする
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Nikkei microdevices : デバイス・イノベーションをリードする (266), 33-53, 2007-08
東京 : 日経BP社
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290884416678400
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- NII Article ID
- 40015591494
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- NII Book ID
- AN10093129
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- ISSN
- 13494619
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- NDL BIB ID
- 8909213
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM13(科学技術--科学技術一般--データ処理・計算機)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
